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1、 气相分子吸收光谱法是20世纪70年代兴起的一种简便、快速的分析手段。1976年 Toyin A. Arowolo、Malcolm S. Cresser 等人首先提出该法（Gas-Phase Molecular Absorption Spectrometry，简称GPMAS），Syty最先应用该法测定了SO2，并设计了吹气反应装置。此后分析家们成功地测定了腐蚀性、挥发性的气体，如I2和Br2、H2S、NOCL、HCN、NO2和NO，Rechikov等人测定了用于半导体工艺的惰性气体混合的氢化物气体中的B、N、P、As、Sb、Si、Ge、Sn的氢化物。

2、 气相分子吸收光谱法(简称 GPMAS)是基于被测成分所分解成的气体对光的吸收强度与被测成分浓度的关系遵守光吸收定律这一原则来进行定量测定的;根据吸收波长的不同,也可以确定被测定的成分而进行定性分析。